浄化工程

百科名刺

一定の範囲内では、空気中の微粒子、有害な空気、細菌などの汚染物質を排除し、室内の温度、清潔度、圧力、気流速度と気流分布、騒音の振動や照明、静電気制御ある需要の範囲内の工学。浄化工程に特別に設計された部屋にかかわらず、外在する空気条件どう変わり、室内はもとに設定は維持要求の清潔度、温湿度や圧力などの性能。

浄化工程浄化工程

一、原理

乱流潔净室原理

乱流潔净室の主な特徴はこれまでの流れから出流送風口まで排気口)の間に気流の流通断面は変化、クリーンルーム断面より送風口断面積が大きいため、全室断面あるいはない全室で働く区断面形成等速気流。だから、送風口から流れ線お互いが大きくあるいはますます大の夾角、曲率半径は小さいが、気流室内で不可能でワン方向に流れがお互いの衝突は、渦発生還流。この決定净室乱流潔の流态実質は:突然変異流、非均質流。これより乱流で描いて乱流潔净室もっと正確に、より包括的な。乱流主要に決定しルノー数は、主に受け流速の影響で、しかしもしを効率的にフィルタ頂からの風を送る形式は、たとえ流速はきわめて低くて、も発生以上各種結果、それはそれは突然変異流と非均質流。だからこの場合は流層の間で乱流で発生の流れを混ぜ、そして全室の範囲内の大の還流、渦に起こった混ぜる。だから、一言で言えば、清潔净室乱流の作用の原理は:ときに株からきれいに気流送風口を室内に、急速に拡散し、週囲に混合して、同時にを同じくらいの数の気流排気口から並んで歩いて、この株気流希釈してきれいに室内汚染空気、元含塵濃度高い室内の空気を薄めてずっとバランス。だから気流拡散ほど早いほど、均一、希釈の技果ほどいい。

単向流潔净室原理

で単向流潔净室で、送風口へ流れる風の通路、気流途中の断面ほとんど変わりがない、さらに向上風静圧箱と高い効率のフィルターの均圧均流作用、全室断面に流速が均一で、少なくとも仕事区内流線一方平行、渦電流。これは一方向流潔净室の三大特徴。ここの流線一方平行とは、時には互いに平行方向流線、シングル、そしてきれい気流は株または数株のではなく、全室に断面から、このクリーンルームでクリーン気流に室内空気の汚れを混ぜ希釈作用ではなく、清潔でツイて作用を室内に気流に沿って汚い空気全体断面列から屋外に達し、室内の空気浄化の目的。だから、元連邦ドイツが人称一方流潔净室の気流を「ピストンフロー」、「平押し流」と称される前ソビエト連邦押し出しの弱い空気ジェット」。空気のようにきれいな空気、ピストンに部屋に沿ってこの「シリンダ」は、前(下)の推進をし、塵しか前(下)に入って、戻ってない、既存の含塵濃度の高い空気押し出し部屋を出る。

二、浄化工程コントロール

クリーンルームでの温湿度制御

クリーン空間の温湿度は主に技術要求によって確定だが、満足の技術要求の条件の下で、考慮するべき人の快適さを感。空気の清潔さ度要求の向上に従って、現れた工芸は温湿度の要求もますます厳しい傾向。具体的な工芸温度の要求を列挙してからも、しかし総の原則から、加工精度はますます精細なので、温度揺らぎの要求はますます小さく。例えば、大規模集積回路の生産プロセスのリソグラフィ露出して、マスクのガラス板材料と硅片の熱膨張係数の差がますます小さく要求。直径ひゃくumの硅片、温度上昇いち度、起きた0.24um線膨張しなければならないので、±0 . 1度の恒温値を求めるとともに、湿度に低いので、汗をかき以降は、製品を汚染して、特にナトリウムの半導体工場を恐れて、この工場は25度を超える。湿度が高すぎで発生した問題をもっと。相対湿度55%以上に、冷却管壁に結露が起きたら精密装置や電気回路の中でいると、各種事故。相対湿度が50%にさびやすい。また、湿度が高すぎるとは、空気中の水の分子のほこりを硅片表面粘着化学吸着表面耐にくいクリア。相対湿度が高いほど、接着の相対湿度が取れにくいが、30%以下の時、また静電力の作用を吸着して、表面的粒子も容易で、同時に大量の半導体に発生しやすいパンクチュア。生産に硅片最優秀温度範囲は35~45%。

クリーンルームでの気圧規定

多くのきれい空間を防止するために外部の汚染の侵入を必要として、内部の圧力(静圧)外部の圧力により(静圧)。圧力差の維持には以下の原則に沿っていち.クリーン空間の圧力が高い非クリーン空間の圧力。清潔度に.レベルの高い空間のプレッシャーより隣の清浄度レベルの低い空間の圧力。さん.通じるクリーンルームの間の扉を開けて清潔さ度レベルの高い部屋に。圧力差の維持に新しい風量、この新しい風量が補償この圧力差で隙間から漏泄落ちヒータ。だから圧力差の物理の意味は漏泄(または浸透)風量を通じてクリーンルームの各種の隙間時の抵抗。クリーンルームでの気流速度の規定のここ討論の気流速度は、清潔な室内の気流速度、その他のクリーン空間の中の気流速度で具体的に説明して設備。乱流で清潔に净室主主によって空気の希釈作用軽減は室内汚染の程度から、メイン用換気回数という概念ではなく、直接用速度の概念が、屋内気流速度も以下の要求。(いち)送風口輸出気流速度はあまり大きくないほうがいい、と単純にエアコンの部屋に比べてスピードを求めて減衰より速く、より大きな拡散角度。(に)がレベルの気流速度(例えば侧に還流送り速度)はあまり大きくないほうがいいように、表面の微粒子が復帰気流による汚染、また、一般0.2m / s勝ち目がない速度。平行流に清潔净室『習慣と層流潔净室)は、主によって気流の「ピストン打押し出し作用排除行染めので、断面のスピードは非常に重要な指標。過去にも参考アメリカ20gB基準を採用し、0.45m / s .しかし人々も知ってこのスピードに必要な換気量は大きく、省エネのためにも、探求低下速一風速の可能性。私の国では、『空気がきれい技術施策」と「クリーン工場設計規範)は規定の垂直平行流(層流)クリーンルームです0.25m / sレベル平行流(層流)クリーンルームですm / s 0 . 35%以上の規定は表明を研究して基本的に満足して汚染の制御を求めて、しかしすべきだ」と異なる情況を区別から違う枠で体現していて更に省エネの目的。

クリーンルームでの騒音制御

クリーンルーム雑音標準普通は皆厳しく保護健康な標準、目的は保障操作が正常に行われ、満足に必要な談話連絡及び安全快適な作業環境。だからゲージのクリーンルームの雑音の主要な指標は:いち。悩みの効果を感じさせないためにノイズ、安らかによって悩み、情緒は普通はとても静かで、とても静かで、比較的に静かで、ややうるさい、うるさいときわめて騒ぎがななしち悩みレベル。凡そ反応レベルはうるさいときわめてうるさい者、つまり高悩み、高い人数は総人数の中で悩みの割合は高く悩み率。に.仕事の効率の影響を主に三つの反応のレベルで、この3つの方面は:精神を集中して仕事のスピードアクション精度さん.総合通信の妨害を主に分ける:はっきりあるいは少し困難困難に満足できない以上三つの面で、標準でA騒音評価。ごじゅう年代で掲げて1本のスペクトル曲線として評価基準は各帯中心週波数の音圧レベルを超えてはならないこの曲線。その後わかってブラシA级計量騒音と雑音の音声の妨害と悩みを台程度がもっと良い代わりに倍率带声压级評価基準の指標として。中国建築科学研究院の建築物理研究所1981年を作る「クリーン工場設計規範』としての測定資料、65dB(A)以下の場合は、30%と高い悩み。65―70dB(A)の時に、その影響は仕事の能率の三面反応表現を低く、60dB(A)以下言語明晰満足.ろくじゅう~75dB(A)に一定の困難、犬は75dB困難。という思いはクリーンルーム騒音レベルは65d)を目安にして、この時高悩み率30%以下;保証普通通話;仕事の効率に影響が小さい

クリーンルームの照度制御

清潔で室内の仕事内容はほとんど精巧な要求を、しかも家屋は密閉性ので、照明がずっと高い要求。ここには必要説明しておき净室窓のない清潔の照明方式:(いち)一般照明をいう考えない特殊な局部を必要とされ、全体を照らしますために設置した照明面積。(に)局部照明とがある指定場所(仕事)の照度のために設置した照明。しかし室内照明一般から単独で使うない局部照明。(さん)混合照明と仕事面での照度は一般照明と局部照明合成の照明のうち、一般照明の照度に「クリーン工場設計規範』は総照度の10%―15%が、低150LXないし。単位面積に写真を受けの光束は照明単位ルクス(LX)。国外のクリーンルームの強度の高い要求については、例えばアメリカクリーンルームのいくつかの標準の要求は.ひゃく級:1080-16001xいちまん級:> lOOOlx 100000級:> 1000LX人工光300lxわりに良い効果が、ワーク精細程度がもっと高い500xも許される。赤信号に対して照明の場所など電子業界のリソグラフィショップ、その照度は普通は25~501x)で、天然の光により高照度許すので、仕事に対しては有利なので、今後のクリーンルームの照明は人工光も採用を採用して天然の光があるかもしれない道の前に、これも省エネで出現の一種類の動向。

クリーンルームでの静電気

クリーンルームで静電気による事故も起きてから、清潔净室の静電気がどのようになって、その品質の能力評価の無視できない面。いわゆる、静電気は摩擦などが原因で破壊した物体が(+)負<)電荷同量の均匀の電気的中性状態で電荷過剰、帯電物体は状態、これらの電荷が普段の流れないので、静電気。  在洁净室内静电导致的事故有以下几方面;  1.静电电引起的静电电击,引起人的不安全和恐惧感,并可造成二次伤害(例如人因受电击而摔倒,由摔倒又致伤);  2-静电放电引起的放电电流,可导致诸如半导体元件等破坏和误动作,例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内,摇晃数次后,与非门栅极严重击穿者计39块,失效率竞达78%,这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏;  3.静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作;  4.静电放电的发光可导致照像肢片等感光破坏;  5.静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞,纺纱线纷乱,印刷品深浅不均和制品污染;  6.静电放电引起的最危险的灾害是成为可燃物的火源井引起爆炸,例如国外文献统计,在手术室使用爆炸性麻醉剂的86000次中,爆炸的36次,其中由静电引起的达21次;  静電事故の発生は主に、静電気の発生と蓄積、気流の流れ、気流とパイプ、コンセント、フィルターなどの摩擦、人体は服との摩擦、服の間の摩擦、技術上の研磨、塗装、流体、洗浄、攪拌、接着や剥離などの操作も可能、すべていくらかの静電気を選ぶて、普通の情況の下で、もっとコンダクチビティー小さい非導体(絶縁体)、電荷発生後は流れやすいので、表現を帯電しやすくなる。静電問題だからクリーンルームで特に深刻なので、クリーンルームに備えだけでなく前述の静電気の多種の工芸要因、しかも潔净室中の多くの材料、例えばプラスチック地面、壁面、ナイロン、テトロンなどの作業服も高いの体積抵抗率もきわめて容易に静電気や集まって静電気、清潔室の静電災害未重視される前に、これらの材料の料は広く採用されたの

三、作用

制御製品(siチップなど)に接触の大気の清浄度や温湿度、製品は良い環境の空間の中で生産、制造。この空間の設計施工過程でと呼ばれる浄化工程。

4、分類

乱流式(Turbulent Flow)空気はエアコン箱経風管室内の空気とクリーンフィルター(HEPA)にクリーンルーム、かつ、清潔净室両側の仕切り壁板や高架床

ブローバック。気流の非直線型運動が不規則の乱流や渦電流状態。この型式に適用するクリーンルームレベルいち、000-100、000級。利点:構造が簡単で、システムの建設コストは低くて、クリーンルームの拡充しやすい、いくつかの特殊な用途の場所はクリーン作業台で、クリーンルームのレベルを高める。短所:乱流による微塵粒子は室内の空間が漂う排除しにくい、易汚染制程製品。またもしシステムが停止再活性化し、需要の清潔度に達しなければならなくて、時間は長い時間。層流式(Laminar)層流式空気気流運動に均一の直線型、空気をカバー率100%のフィルター室内に入り、かつ、高架床または両側に仕切り板ブローバック。この型式に適用する必要のクリーンルームレベルの高い環境を使うかも、普通その潔净室レベルをClass1~ひゃく。その型式に分けることができます2種類:(いち)レベル層流式:水平式空気はフィルター単方向から吹き出すながら壁のブローバックシステムブローバック、ほこりが屋外に排出は、一般に下流側より深刻な汚染。利点:構造が簡単で、稼動後に短い時間の内でで安定になる。短所:建造費は乱流式が高く、室内の空間を拡充しにくい。(に垂直層流式:部屋の天井が完全にはULPAフィルターに覆われ、空気は上から下に吹いて、高いの清潔さ度、プロセス中やスタッフによるほこり高速排出屋外で他に影響を与えない作業領域。利点:管理が容易、運転開始の短い時間内にある状態が安定しにくい状態や作業者は作業に影響。
乱流式

乱流式

短所:構造費用が高く、弾性運用空間困難、天井のハンガーはかなり空間を占め、修理交換フィルターが面倒。複合式(Mixedタイプ):複合式を乱流式や層流式を複合したりで、局部の空気を提供することができます超きれい。(いち)クリーントンネル(Clean Tunnel):HEPAやULPAフィルターを制程地域や作業区域を100 %カバーの清潔さ度レベル向上からじゅう級以上、インストール費用を節約する。この型式の必要を作業員の仕事区と製品と機械のメンテナンスを隔離を回避し、機械のメンテナンス時に仕事に影響が及び品質。ULSI制程多く採用その型式。クリーントンネルまた二項の利点:A .弾性拡充しやすい;B .修理設備補修区に簡単に実行する。(に)クリーン管(Clean Tube):制品の流れの自動生産ラインを包囲して浄化処理は、清潔さ度ならひゃく級以上のレベルまで。は、製品と作業員や発塵環境相互隔離、少量の送風する良好の清潔度、エネルギーを節約することができるすることなく、人工の自動化生産ラインを最も使用に適して。医薬品、食品業界や半導体業界は適用。(さん)詰めにして局部潔净室(Clean Spot):潔净室レベル、000~ひゃくじゅう、000の乱流室内の制品制程きれい区の清浄度レベルを高めるじゅう~せん級以上、生産の仕事だと思ってきれいで、清潔な仕事、台スタジオ、清潔風櫃がこれにあたる。局部クリーン工事クリーン作業台:レベルClassいち~ひゃく級。仕事をきれいにスタジオで乱流式のクリーンルーム空間内で静電気の透明ビニール轮が小さい空間を採用し、独立のHEPAやULPAやエアコンの風を送ってユニットにやや高度のクリーン空間、そのレベルをじゅう~せん級、高さ2 . 5メートル、面積は約10m2カバー以下、四本の柱を増設する活動の輪を運用して、弾力性。空気の清潔さ度等級基準及び規範経済と科学技術の発達した国と地域でも自分の空気がきれい標準と規範基準について、規定の清浄度等級、例えばアメリカ、日本、西ヨーロッパ、北欧、ロシアなど。わが国は1984年公布「クリーン工場設計規範』(GBJ73-84)、1996年に同規範を大きな改正は、1990年公布「クリーンルーム工事及び検収規範』(JGJ71-90)を指導して工事及び検収重要書類。現在、この規範改訂の中で。GBJ73-84規定の清浄度等級
等級 毎立方メートル(リットル)空気中」が0 . 5μmの塵の粒数 毎立方メートル(リットル)空気中」ごμmの塵の粒数
ひゃく 「35 *ひゃく(〈3〉
せん 「35 *せん(35〉〈 「250(0 . 25〉〈
いちまん 「35 *いちまん(350〉〈 『2500(〈2〉
100000 「35 * 100000(3500〉〈 「25000(25〉〈
アメリカ連邦標準FS209E中のクリーンクラス
レベルの名称 レベル制限値
0 . 1μm 0 . 2μm 0 . 3μm 0 . 5μm ごμm
容積単位 容積単位 容積単位 容積単位 容積単位
国際単位 インチ
単位
m Ft m Ft m Ft m Ft m Ft
M1.0
350 9.91 75.7 2 . 14 30.9 0.875 じゅう 0.283 / /
M1.5 いち 1240 35.0 265.0 7 . 5 106 さん 35.3 いち / /
M2.0
3500 99.1 757 売上21 . 4 309 8 . 75 ひゃく 2 . 83 / /
M2.5 じゅう 12400 350.0 2650 75 1060 さんじゅう じゅう / /
M3.0
35000 991.0 7570 214 3090 87.5 せん 28 . 3 / /
M3.5 ひゃく / / 26500 750 10600 300 3530 ひゃく / /
M4.0
/ / 75700 2140 30900 875 いちまん 283 / /
M4.5 せん / / / / / / 35300 せん 247 ななしち
M5.0
/ / / / / / 100000 2830 618 17 . 5
M5.5 いちまん / / / / / / 353000 いちまん 2470 ななじゅう
M6.0
/ / / / / / 1000000 28300 6180 175
M6.5 100000 / / / / / / 3530000 100000 24700 700
M7.0
/ / / / / / 10000000 283000 61800 1750

六、業界応用

浄化工程は応用産業は非常に広範な基礎的な組立産業、現在、電子情報、半導体、光電、精密機械製造、医薬衛生、バイオ、宇宙航空、自動車塗装などの多くの産業が応用し、業種の精密とクリーン要求、格差も大きい。現在の最高の水準は宇宙航空の航空倉は、基本的にはいち級は特殊な分野で、面積は相対的に小さい。
浄化工場

浄化工場

また、高いレベルの要件はバイオ実験室と高精度のナノ素材の生産工場、モノのインターネットチップの発展は今後の需要の大きな方向。電子部品に従って微細化する方向で、液晶パネルがエスカレートしてから第8世代の、業界の需要が非常に大きい。
  • 電子製造業
  • 浄化工程
  • 医療衛生類
  • バイオ製薬
  • 浄化工程空調冷凍案の紹介
  • 光電光学係
  • 印刷包装業
  • 日用消耗品類食品